Zusammenfassung
Bis jetzt wurden Verfahren betrachtet, bei denen die Energie vom Arbeitsgas durch Stöße absorbiert wurde. Dabei wird bei PE und IE die kapazitive Methode angewendet; das Substrat befindet sich meist auf der angeregten Elektrode.
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Franz, G. (1994). Cyclotron-Systeme. In: Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08979-8_11
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