Zusammenfassung
Bei der Steuerung von modernen elektro-mechanischen Geräten und Maschinen besteht ein Bedarf, Bewegungen von Bauteilen quer zur Beobachtungsrichtung in der Ebene absolut zu vermessen. Interferometrische Meßverfahren sind aufgrund der steigenden Anforderungen an die Präzision dieser Geräte und der dabei geforderten Wegauflösung vorteilhaft.
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Schilling, U., Drabarek, P. (1994). Hologramm-Maßstab zur absoluten Positionserfassung in der Ebene. In: Waidelich, W. (eds) Laser in der Technik / Laser in Engineering. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08251-5_47
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