Zusammenfassung
Die hier beschriebenen Ätzverfahren unterscheiden sich wesentlich hinsichtlich der Druckbereiche: IBE-Verfahren arbeiten im Druckbereich kleiner 0,1 Pa, während IE im Druck um eine Größenordnung und PE um zwei Größenordnungen höher liegen. RIPE- und ECR-Verfahren unfassen den Bereich zwischen IBE und IE. Das kann auch von den Ätzraten gesagt werden.
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Franz, G. (1990). Ausblick. In: Kalte Plasmen. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-08045-0_12
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