Zusammenfassung
Aus den in Abschnitt 4 zusammengestellten Anforderungen ergeben sich für die Korrekturspiegeleinheit folgende Teilsysteme:
-
Umlenkspiegel in Leichtbauweise,
-
Gelenkige Lagerung des Umlenkspiegels,
-
Aktuator mit zugehöriger Stelleinrichtung,
-
Meßsystem zur Erfassung der Spiegelkippwinkel.
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© 1997 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Renz, B. (1997). Konzeption und Realisierung hochdynamischer Korrekturspiegeleinheiten. In: Hochdynamische Strahllagekorrektursysteme zur Erhöhung der Bahngenauigkeit von CO2-Laserbearbeitungsmaschinen. ISW Forschung und Praxis, vol 118. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-07798-6_6
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