Zusammenfassung
Für die elektronenmikroskopische Präparationstechnik — bei der Herstellung von Trägerfolien und Schrägbeschattungen — spielt die Aufdampfmethode eine große Rolle. Es soll daher in diesem Paragraph der prinzipielle Aufbau von Verdampfungsapparaturen beschrieben und insbesondere auf die Wahl geeigneter Verdampfungsquellen eingegangen werden.
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Literatur zu § 12
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Reimer, L. (1959). Grundlagen der Hochvakuum- und Aufdampftechnik. In: Elektronenmikroskopische Untersuchungs- und Präparationsmethoden. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-01452-3_12
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