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Präparation

  • Ludwig Reimer
  • Gerhard Pfefferkorn

Zusammenfassung

In der Raster-Elektronenmikroskopie kann man Oberflächen fester Objekte direkt abbilden, wenn sie
  1. 1.

    sauber (frei von Belegungen) sind

     
  2. 2.

    hochvakuumbeständig sind (ihre Form nicht verändern und nicht gasen)

     
  3. 3.

    sich unter Elektronenbeschuß nicht verändern

     
  4. 4.

    keine störenden Aufladungen zeigen sowie

     
  5. 5.

    eine hinreichend hohe Sekundärelektronen-Ausbeute liefern.

     
Falls diese Bedingungen nicht von vornherein erfüllt sind, müssen geeignete präparative Maßnahmen ergriffen werden. Darüber hinaus kann durch bestimmte Präparationsmethoden der Informationsgehalt der Aufnahmen erhöht werden.

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Literatur zu § 8

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1973

Authors and Affiliations

  • Ludwig Reimer
    • 1
  • Gerhard Pfefferkorn
    • 2
  1. 1.Physikalischen InstitutUniversität MünsterMünsterDeutschland
  2. 2.Universität MünsterMünsterDeutschland

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