Skip to main content

Auswertemethoden rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen

  • Chapter
Raster-Elektronenmikroskopie

Zusammenfassung

Für die Auswertung von Stereo-Bildpaaren benötigt man Formeln, welche die Höhenunterschiede zweier Punkte aus der Differenz ihrer Abstände in beiden Bildern — der sogenannten Parallaxe p — zu berechnen gestatten. Man hat zu berücksichtigen, daß die Abbildung im SEM speziell bei geringen Vergrößerungen eine Zentralprojektion darstellt (§ 3.2.1) (Boyde, 1967, 1968, 1970; Lane, 1969; Helmcke, 1970; Weimann, 1970; Hepworth und Sikorski, 1970; Cripps und Sang, 1970). Erst wenn die Kantenlänge der abgerasterten Fläche bedeutend kleiner als die Entfernung des Projektionszentrums ist, kann man die Näherung einer Parallelprojektion benutzen. Demgegenüber geht man in der Theorie der Stereoauswertung für das TEM gleich von der Parallelprojektion aus (Gotthardt, 1942; Heidenreich und Matheson, 1944; Helmcke, 1954, 1955; Helmcke und Orthmann, 1954; Nankivell, 1962, 1963; Wells, 1960).

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Chapter
USD 29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD 54.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur zu § 7

  • Bassewtrz, K., vox: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 4 /2, S. 505. Münster 1971.

    Google Scholar 

  • Beadle, C.: Advan. Optical and Electron Microscopy 4, 361 (1971).

    Google Scholar 

  • Blaschke, R.: Z. wiss. Mikr. 67, 1 (1965).

    Google Scholar 

  • Blaschke, R.: Leitz-Mitt. 4, 44 (1967).

    Google Scholar 

  • Blaschke, R., Fecher, K.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberfl., Bd. 1, S. 305. Münster 1968.

    Google Scholar 

  • Blaschke, R.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 161. Münster 1970a.

    Google Scholar 

  • Blaschke, R.: Fortschr. Mineral. 47, 197 (19706).

    Google Scholar 

  • Bode, M.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3. S. 415. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Boyde, A.: J. Roy. Microscop. Soc. 86, 359 (1967).

    Article  Google Scholar 

  • Boyde, A.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 1, S. 97. Münster 1968.

    Google Scholar 

  • Boyde, A.: Proc. 3rd Ann. SEM Symp., p. 105. Chicago 1970.

    Google Scholar 

  • Boyde, A.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 403. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Boyde, A.: Proc. 4th Ann. SEM Symp., p. 1. Chicago 1971a.

    Google Scholar 

  • Boyde, A.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 4 /2, S. 443. Münster 1971h.

    Google Scholar 

  • Christenhuss, R., Pfefferkorn, G.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 1, S. 129. Münster 1968.

    Google Scholar 

  • Crisps, J. B. F., Sang, H.: Rev. Sci. Instr. 41, 1825 (1970).

    Article  ADS  Google Scholar 

  • Dinnis, A. R.: Proc. 4th Ann. SEM Symp., p. 43. Chicago 1971.

    Google Scholar 

  • Doss, M. G., Sikorski, J.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 187. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Dörfler, G.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 2, S. 161. Münster 1969.

    Google Scholar 

  • Dörfler, G.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 57. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Dörfler, G., Russ, J. C.: Proc. 3rd Ann. SEM Symp., p. 65. Chicago 1970.

    Google Scholar 

  • Gahm. J.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 79. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Glagoleff, A. A.: Transact. Inst. Econ. Min., Moskau 1933, 59.

    Google Scholar 

  • Gotthardt, E.: Z. Physik 118, 714 (1942).

    Article  ADS  Google Scholar 

  • Heidenreich, R. D., Matheson, L. A.: J. Appl. Phys. 15, 423 (1944).

    Article  ADS  Google Scholar 

  • Helmcke, J. G.: Optik 11, 201 (1954); 12, 253 (1955).

    Google Scholar 

  • Helmcke, J. G.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 351. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Helmcke, J. G., Orthmann, H. J.: Optik 11, 562 (1954).

    Google Scholar 

  • Hennig, A.: Mikroskopie 11, 1 (1956).

    Google Scholar 

  • Hennig, A.: Zeiss Werkzeitschr. 5, H. 30 (1958).

    Google Scholar 

  • Hepworth, A., Sikorski, J.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 395. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Kleinn, W.: Optik 18, 209 (1961).

    Google Scholar 

  • Kluge, N.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 69. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Lane, G. S.: J. Sci. Instr. 2, 565 (1969).

    Article  ADS  Google Scholar 

  • Lenz, F.: Optik 11, 524 (1954).

    Google Scholar 

  • Lenz, F.: Z. wiss. Mikr. 63, 50 (1956).

    Google Scholar 

  • NankivellJ. F.: Brit. J. Appl. Phys. 13, 126 (1962).

    Article  ADS  Google Scholar 

  • Nankivell, J. F.: Optik 20, 171 (1963).

    Google Scholar 

  • Neubauer, G., Schnitger, A.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 411. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Reimer, L. u.a.: Forschungsber. Land Nordrhein-Westfalen Nr. 2314. Opladen: Westdeutscher Verlag 1973.

    Google Scholar 

  • Rosival, A.: Verh. der k. k. Geolog. Reichsanst., S. 413. Wien 1898.

    Google Scholar 

  • Stroke, G. W., Haliloua, M., Saffir, A. J., Evins, D. J.: Proc. 4th Ann. SEM Symp.p. 59. Chicago 1971.

    Google Scholar 

  • Tovey, N. K.: Proc. 4th Ann. SEM Symp., p. 49. Chicago 1971a.

    Google Scholar 

  • Tovey, N. K.: Proc. 25th Ann. Meeting EMAG, p. 244. London-Bristol: Inst. of Physics 1971 b.

    Google Scholar 

  • Weimann, G.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 3, S. 361. Münster 1970.

    Google Scholar 

  • Wells, O. C.: Brit. J. Appl. Phys. 11, 199 (1960).

    Article  ADS  Google Scholar 

  • White, E. W., Görz, H., Johnson, G. G., Mcmillan, R. E.: Proc. 3rd Ann. SEM Symp., p. 59. Chicago 1970.

    Google Scholar 

  • White, E. W., Görz, H., Johnson, G. G.: Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberft., Bd. 4 /2, S. 415. Münster 1971.

    Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1973 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

About this chapter

Cite this chapter

Reimer, L., Pfefferkorn, G. (1973). Auswertemethoden rasterelektronenmikroskopischer Aufnahmen. In: Raster-Elektronenmikroskopie. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-662-00083-0_7

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-00083-0_7

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-06102-1

  • Online ISBN: 978-3-662-00083-0

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics