V25 Interferenzmikroskopie verformter Werkstoffoberflächen

Zusammenfassung

Die Oberflächen von Proben und Bauteilen aus metallischen Werkstoffen sind nie vollkommen eben (vgl. V21). Der Unebenheitsgrad bzw. die Rauigkeit hängen entscheidend von der Art der Umformung und der Endbearbeitung ab. So zeigt beispielsweise eine gehärtete Stahlprobe nach einer Schleifbehandlung eine andere Oberflächentopographie als nach einer elektrolytischen Polierbehandlung (vgl. V7). Ein anderes Beispiel stellt die Veränderung des Profils elektrolytisch polierter Proben durch plastische Verformung dar.

Die direkte Messung von Profilhöhen zwischen etwa 0,05 und 2 µm ist innerhalb kleiner Bereiche blanker Oberflächen mit Hilfe der Interferenzmikroskopie möglich. Dieses Verfahren ist hochauflösend und daher für Detailuntersuchungen besser geeignet als zur gewöhnlichen Gütebestimmung technischer Oberflächen (vgl. V21). Das Interferenzmikroskop ist im Prinzip ein Zweistrahlinterferometer, bei dem zusätzlich eine Abbildung der interessierenden Werkstoffoberfläche mit hoher Vergrößerung erfolgt. Abb. 25.1 zeigt den optischen Aufbau eines solchen Gerätes.