Zusammenfassung
Die Entwicklung der Integrierten Schaltungen — dies gilt sowohl für die prozeßtechnische wie für die schaltungstechnische Entwickung, gleichermaßen auch für die MOS- und die Bipolartechnik — ist durch zwei Hauptzielrichtungen charakterisiert, von denen die eine zu ständig höheren Integrationsdichten führt und die andere auf verbesserte und neuartige elektrische Leistungsmerkmale der Integrierten Schaltung zielt. Je nach Anwendung und Produkt steht bei der Prozeß- und Schaltungsentwicklung jeweils eines dieser Ziele mehr oder weniger dominierend im Vorgergrund.
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Literatur zu Kapitel 8
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Widmann, D., Mader, H., Friedrich, H. (1988). Der Gesamtprozeß — Architektur und Integration. In: Technologie hochintegrierter Schaltungen. Halbleiter-Elektronik, vol 19. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-97059-7_9
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