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Meßverfahren zur Ermittlung von Halbleiterparametern

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Halbleiter-Technologie

Part of the book series: Halbleiter-Elektronik ((HALBLEITER,volume 4))

  • 129 Accesses

Zusammenfassung

Nachfolgend sollen einige Meßverfahren zur Ermittlung elektrischer und physikalischer Halbleiterparameter angegeben werden- Anwendung findet die Halbleitermeßtechnik bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen prinzipiell zur Verbesserung und Überwachung der Kristallherstellung und Kennzeichnung des Grundmaterials durch Angabe des Leitungstyps, der Leitfähigkeit und anderer elektrischer Parameter, sowie zur Überwachung der Veränderungen im Material infolge technologischer Prozesse, z.B. zusätzliche Dotierung zur Herstellung von pn-Übergängen, und Optimierung dieser Prozesse.

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References

  1. Eine ausführliche Darstellung der Transportphänomene in Halbleitern wird in Band 3 dieser Reihe gegeben.

    Google Scholar 

  2. Die Lichtimpulse werden auf die Mitte der Probe fokussiert, damit eine Beeinflussung der Messung durch Photoeffekte an den Enden des Kristalles (Kontakte) ausgeschaltet wird.

    Google Scholar 

  3. Ist die Ziehachse parallel zu einer Kante der Einheitszelle, so spricht man von <100>-Orientierung des Kristallstabes; ist sie parallel zur Raumdiagonalen, ergibt dies die <lll>-Orientierung des Stabes; <110>-Orientierung liegt vor, wenn die Ziehachse parallel zu einer Flächendiagonalen liegt.

    Google Scholar 

  4. Bei einem neueren Verfahren, der sog. Live-Röntgentopographie, wird der Film durch ein röntgenempfindliches PbO-Vidicon mit nachfolgender Fernseheinheit ersetzt. Damit können Entstehung und Wanderung der Versetzungslinien durch Erwärmung oder mechanische Verspannung des Kristalls bis zu Geschwindigkeiten von 0,3 mm/s direkt auf dem Bildschirm beobachtet werden [6.32].

    Google Scholar 

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Authors and Affiliations

  1. Lehrstuhl für Integrierte Schaltungen, Technische Universität München, München, Germany

    Dr.-Ing. Ingolf Ruge (o. Professor, Direktor des Instituts für Festkörper-Technologie der Fraunhofer-Gesellschaft)

Authors
  1. Dr.-Ing. Ingolf Ruge
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© 1984 Springer-Verlag Berlin, Heidelberg

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Ruge, I. (1984). Meßverfahren zur Ermittlung von Halbleiterparametern. In: Halbleiter-Technologie. Halbleiter-Elektronik, vol 4. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-96782-5_7

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  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-12661-4

  • Online ISBN: 978-3-642-96782-5

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