Substrate

Zusammenfassung

Als Träger für Schaltungen werden isolierende Materialien wie Glas, polykristalline Al₂O₃-Keramik mit 94 bis 99,6% Al-Gehalt und für Sonderfälle Al₂O₃-Einkristalle (Saphir) sowie polykristallines Beryllium verwendet. Die Al-Keramik wird aus einer Mischung von Al₂O₃- und Glas-Pulver durch Sintern bei maximal 1500°C hergestellt. Die Eigenschaften nach dem Sintern werden mit dem Zusatz “as fired” bezeichnet. Eine glattere Oberfläche erhält man durch Polieren. Neben diesen festen Substraten setzen sich biegsame Substrate, sogenannte Folien z.B. aus Polyimid, immer stärker durch. Die Halbleitertechnik benützt Si- oder Saphir-Einkristalle als Substrate.