Zusammenfassung
Das magnetische Feld der Erde dient gewissen Tieren zur Orientierung und wird von ihren Sinnesorganen wahrgenommen. Der Mensch behilft sich Scit 4000 Jahren mit dem Kompass, dem wohl ältesten sensorartigen Instrument. Moderne mikroelektronische Magnetfeldsensoren auf Siliziumbasis sind zu Millionen als Positions- und Stromdetektoren im Einsatz. Die Einleitung zu diesem Kapitel bietet eine erste Übersicht der Anwendungen, Feldstärkebereiche, Spezifikationen, physikalischen Effekte, Materialien und Technologien der auf magnetischen Phänomenen beruhenden Sensoren und ihrer Literatur.
This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Literatur zu Kapitel 4
Baltes, H.; Popovi C., R. S.; Integrated semiconductor magnetic field sensors. Proc. IEEE 74 (1986) 1107–1132.
Popovi C., R. S.: Hall-effect devices. Sensors and Actuators 17 (1989) 39–53.
Kordi C., S.: Integrated silicon magnetic-field sensors. Sensors and Actuators 10 (1986) 347–378.
Middelhoek, S.; Audet, S. A.: Silicon Sensors. London: Academic Press 1989. Chapter 5: Silicon sensors for magnetic signals, pp. 201–247.
Baltes, H.; Nathan, A.: Integrated magnetic sensors. In: Sensors 1: Fundamentals, Eds. Grandke, T.; Ko, W. Weinheim: VCH Verlagsgesellschaft 1989, Chapter 7, pp. 195–215.
Baltes, H.; Nathan, A.: Sensor modeling. In: Sensors 1: Fundamentals, Eds. Grandke, T.; Ko, W. Weinheim: VCH Verlagsgesellschaft 1989, Chapter 3, pp. 45–77.
Nakamura, T.; Maenaka, K.: Integrated magnetic sensors. Sensors and Actuators A 21-A 23 (1990) 762–769.
Boll, K.; Overshott, K. J. (Eds.): Sensors 5: Magnetic Sensors. Weinheim: VCH Verlagsgesellschaft 1989.
Popovi C., R. S.; Heidenreich, W.: Magnetogalvanic sensors. Ref. [4.8], Chapter 3, pp. 43–96.
Hinz, G.; Voigt, H.: Magnetoelastic sensors. Ref. [4.8], Chapter 4, pp. 97–152.
Bornhöft, W.; Trenkler, G.: Magnetic field sensors: flux gate sensors. Ref. [4.8], Chapter 5, pp. 153–203.
Dehmel, G.: Magnetic field sensors: induction coil (search coil) sensors. Ref. [4.8], Chapter 6, pp. 205–235.
Decker, W.; Kostka, P.: Inductive and eddy current sensors. Ref. [4.8], Chapter 7, pp. 255–313.
Rauscher, G.; Radeloff, Ch.: Wiegand and pulse-wire sensors. Ref. [4.8], Chapter 8, pp. 315–339.
Dibbern, U.: Magneto-resistive sensors. Ref. [4.8], Chapter 9, pp. 341–380.
Koch, H.: SQUID sensors. Ref. [4.8], Chapter 10, pp. 381–445.
Bosch, G.: A Hall device in an integrated circuit. Solid-State Electronics 11 (1968) 712–714.
Heywang, W.; Pötzl, H. W.: Bänderstruktur und Stromtransport, 2. Auflage. Berlin: Springer 1991 (Halbleiter-Elektronik, Band 3), Abschn. 4.
Madelung, O.: Halbleiter. In: Handbuch der Physik XX: Elektrische Leitungsphänomene II, Herausg. Flügge, S. Berlin: Springer 1957, pp. 1–245.
Sugiyama, Y.; Taguchi, T.; Tacano, M.: Highly-sensitive magnetic sensor made of AlGaAs/GaAs heterojunction semiconductors. Proc. 6th Sensor Symposium. Tokyo: IEE Japan 1986, pp. 55–60.
Nathan, A.; Baltes, H.: How to achieve nanotesla resolution with integrated silicon magnetotransistors. IEDM, Washington DC, 3–6 Dec. 1989, Technical Digest. New York: IEEE 1989, pp. 511–514.
Maupin, J. T.; Geske, M. L.: The Hall effect in silicon circuits. In: The Hall Effect and its Applications, ed. by Chien, C. L., Westgate, C. R. New York: Plenum Press 1980, pp. 421–445.
Sugiyama, Y.: Fundamental research on Hall effects in inhomogeneous magnetic fields. Res. Electrotechn. Lab. (Jpn) 838 (1983) 1–146.
Kanayama, T.; Hiroshima, H.; Komura, M.: A quarter-micron Hall sensor fabricated with maskless ion implantation. J. Vacuum Sci. Technol. 136 (1988) 1010–1013.
Hara, T. T.; Mihara, M.; Toyoda, N.; Zama, M.: Highly linear GaAs Hall devices fabricated by ion implantation. IEEE Trans. Electron Devices ED-29 (1982) 78–82.
Nathan, A.; Maenaka, K.; Allegretto, W.; Baltes, H.; Nakamura, T.: The Hall effect in integrated magnetotransistors. IEEE Trans. Electron Devices ED-36 (1989) 108–117.
Weiss, H.: Physik und Anwendung galvanomagnetischer Bauelemente. Braunschweig: Vieweg 1969.
Lipmann, H.; Kuhrt, F.: Hallgeneratoren. Berlin: Springer 1968.
Kataoka, S.: Recent development of magnetoresistive devices and applications. Circulars Electrotechn. Lab. 182 (1974) 1–52.
Seitz, T.: Flux gate sensor in planar microtechnology. Sensors and Actuators A21–A23 (1990) 799–802.
Riccobene, C.; Wachutka, G.; Bürgler, J.; Baltes, H.: Two-dimensional numerical modeling of dual-collector magnetotransistors: evidence for emitter efficiency modulation. Sensors and Actuators A31 (1992) 210–214.
Hirata, M.; Suzuki, S.: Integrated magnetic sensor. Proc. 1st Sensor Symposium. Tokyo: IEE Japan 1982, pp. 37–40.
Popovi C., R. S.: Hall Effect Devices. Bristol: Adam Hilger 1991.
Rights and permissions
Copyright information
© 1993 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Baltes, H. (1993). Magnetische Effekte. In: Sensorik. Halbleiter-Elektronik, vol 17. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-88171-8_5
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-88171-8_5
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-55119-5
Online ISBN: 978-3-642-88171-8
eBook Packages: Springer Book Archive