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Oberflächen- und Dünnschicht-Technologie pp 17–68Cite as

Modifizierung von Oberflächen durch Laserstrahl-Verfahren

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Part of the book series: WFT Werkstoff-Forschung und -Technik ((WFT,volume 6))

Zusammenfassung

Die Oberflächenbearbeitung mit Laserstrahlen ist ein rasch wachsendes Gebiet mit vielen realisierten und vielen potentiellen Anwendungen in den verschiedensten Bereichen der Technik, wie beispielsweise in der Mikromechanik, der Metallkunde, der Halbleitertechnik, der integrierten Optik und der chemischen Verfahrenstechnik.

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Authors and Affiliations

  1. Institut für Festkörperphysik, Technischen Universität Graz, Österreich

    Dr. René A. Haefer (Professor, Leiter)

  2. Konzerngruppe Physikalische Grundlagen, Gebrüder Sulzer AG, Winterthur, Schweiz

    Dr. René A. Haefer (Professor, Leiter)

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  1. Dr. René A. Haefer
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Haefer, R.A. (1991). Modifizierung von Oberflächen durch Laserstrahl-Verfahren. In: Oberflächen- und Dünnschicht-Technologie. WFT Werkstoff-Forschung und -Technik, vol 6. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-87679-0_2

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