Zusammenfassung
Der wichtigste Arbeitsgang bei der Herstellung eines Hallgenerators ist die Erzeugung der dünnen Halbleiterschicht. Sie kann auf zwei grundsätzlich verschiedene Weisen gewonnen werden, nämlich durch Abtragen des erschmolzenen Halbleiterkristalls oder durch Aufbau aus den Einzelkomponenten.
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© 1968 Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg
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Kuhrt, F., Lippmann, H.J. (1968). Herstellungsverfahren. In: Hallgeneratoren. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-86931-0_6
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