Zusammenfassung
In einer ständig wachsenden Anzahl moderner Gerätesysteme finden mikromechanische Bauelemente Verwendung. Am Beispiel mikromechanischer Schwingspiegel zur Laserstrahlpositionierung werden die Möglichkeiten der quantitativen Interferoraetrie zur Form-und Verformungsmessung und zur Funktionskontrolle aufgezeigt.
Summary
The possibilities of quantitative interferometry for microraechanical problems are demonstrated. For example the measurements of technology-related deformations on micromechanical vibrating mirrors and their vibration analysis are described.
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Literatur
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Großer, V., Bombach, C., Totzauer, W., Markert, J., Rauch, M., Löbner, B. (1992). Quantitative interferometrische Messungen technologisch bedingter Verformungen an mikromechanischen Schwingspiegeln und dessen Schwingungsanalyse. In: Waidelich, W. (eds) Laser in der Technik / Laser in Engineering. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-84736-3_36
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