Zusammenfassung
Im Rahmen der Entwicklung eines Handhabungssystems für eine automatisierte Naßprozeßanlage für die Halbleiterfertigung /97/ soll die Anwendbarkeit der Leitlinien in der Praxis erprobt werden. Der Prototyp des Handhabungssystems wird anschließend mit der entwickelten Vorgehensweise zur Untersuchung der Partikelemission bezüglich der Reinraumtauglichkeit und eventueller Schwachstellen überprüft.
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© 1989 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
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Geißinger, J. (1989). Umsetzung und Erprobung der Erkenntnisse an einem Praxisbeispiel. In: Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme. IPA-IAO Forschung und Praxis, vol 141. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-84037-1_7
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