Zusammenfassung
Die Reinraumtechnologie beschäftigt sich mit dem Aufbau von Systemen zur Herstellung von Produkten, deren Fertigung besondere Anforderungen an eine extrem partikelarme Umgebungsluft stellt/1,2,8,21,22/. Bereits geringste Mengen von kleinsten luftgetragenen Teilchen führen zum Beispiel in der Halbleiterfertigung oder der Präzisionsmontage /23/ zu hohen Ausschüssen oder erhöhen das Infektionsrisiko /7/ in der Medizin. Die Reinraumtechnologie verbindet die Bereiche Luft- und Klimatechnik sowie Filtrations-, Partikelmeß- und Anlagentechnik.
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Geißinger, J. (1989). Stand der Technik. In: Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme. IPA-IAO Forschung und Praxis, vol 141. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-84037-1_2
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