Zusammenfassung
Aus den Analysen in Kap. 3 geht hervor, durch welche Mechanismen die Partikelkontamination in der Flüssigkeitsversorgung beeinflußt wird und wo diesbezüglich kritische Stellen zu erwarten sind. Außerdem wurden die Eignung und die Grenzen der verfügbaren Meßtechnik als Kernstück für die zu entwickelnden Prüfverfahren analysiert. Im folgenden werden daraus die Anforderungen an die Prüfverfahren erarbeitet.
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© 1989 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Herz, R. (1989). Anforderungen an die Prüfverfahren. In: Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten. IPA-IAO Forschung und Praxis, vol 138. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-83865-1_4
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