Zusammenfassung
Das Ziel der vorliegenden Arbeit war die Entwicklung von Prüfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgte eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus wurden die möglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammengestellt. Gleichzeitig erfolgte eine kritische Analyse der verfügbaren Meßtechnik für Partikel in Flüssigkeiten.
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Herz, R. (1989). Zusammenfassung und Ausblick. In: Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten. IPA-IAO Forschung und Praxis, vol 138. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-83865-1_10
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