Zusammenfassung
In verschiedenen Industriebereichen ist die Reinheit der Fertigungsumgebung einschließlich aller verwendeten Stoffe von entscheidender Bedeutung für die Fertigungsausbeute. Besonders Halbleiterbauelemente und die Prozesse zu deren Herstellung sind hochempfindlich gegen Kontamination durch Fremdstoffe /1,2,3/.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Author information
Authors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 1989 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Herz, R. (1989). Einleitung. In: Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten. IPA-IAO Forschung und Praxis, vol 138. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-83865-1_1
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-83865-1_1
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-51457-2
Online ISBN: 978-3-642-83865-1
eBook Packages: Springer Book Archive