Zusammenfassung
Beim Einsatz von CCD-Zeilen für längenmeßtechnische Aufgaben konnen Auflösungen von etwa 0,1 µm erreicht werden. Die vorgestellten Meßergebnisse von Teilungsmessungen an CCD-Zeilen zeigen, mit welchen Teilungsfehlern gerechnet werden muß und geben Hinweise für ihre rechentechnische Korrektur.
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Literatur
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© 1987 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
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Hantke, D., Philipp, H., Sparrer, G., Tschirnich, J., Christoph, R., Kramer, H. (1987). Zur Genauigkeit der Teilung von CCD-Zeilen. In: Waidelich, W. (eds) Laser/Optoelektronik in der Technik / Laser/Optoelectronics in Engineering. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-83174-4_46
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