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Raster-Elektronenmikroskopie pp 60–108Cite as

Elektronenoptik, Aufbau und Funktion des Raster-Elektronenmikroskopes

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Zusammenfassung

Im SEM erfolgt der Elektronenaustritt aus der Kathode in das Vakuum durch thermische Emission oder in speziellen Fällen durch Feldemission. Glühkathoden und Feldemissionskathoden arbeiten mit unterschiedlichen Elektrodensystemen. Bei Glühkathoden wird das elektrische Feld am Ort der Kathode gering gehalten. Es soll sich nach Möglichkeit eine Raumladung vor der Kathode ausbilden. Dieser Betrieb wird durch eine Hilfselektrode (Wehnelt-Zylinder) zwischen Kathode und Anode aufrechterhalten (Abb. 3.1 a). Sie befindet sich auf einem gegenüber der Kathode negativen Potential der Größenordnung — 100 V.

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Authors and Affiliations

  1. Elektronenmikroskopischen Abteilung im Physikalischen Institut der Universität, Schloßplatz 7, D-4400, Münster, Deutschland

    Professor Dr. Ludwig Reimer (Leiter)

  2. Instituts für Medizinische Physik der Universität, Hüfferstraße 68, D-4400, Münster, Deutschland

    Professor Dr. Gerhard Pfefferkorn (Direktor)

Authors
  1. Professor Dr. Ludwig Reimer
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  2. Professor Dr. Gerhard Pfefferkorn
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Reimer, L., Pfefferkorn, G. (1977). Elektronenoptik, Aufbau und Funktion des Raster-Elektronenmikroskopes. In: Raster-Elektronenmikroskopie. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-81112-8_3

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