Elektronenoptik, Aufbau und Funktion des Raster-Elektronenmikroskopes

  • Ludwig Reimer
  • Gerhard Pfefferkorn

Zusammenfassung

Im SEM erfolgt der Elektronenaustritt aus der Kathode in das Vakuum durch thermische Emission oder in speziellen Fällen durch Feldemission. Glühkathoden und Feldemissionskathoden arbeiten mit unterschiedlichen Elektrodensystemen. Bei Glühkathoden wird das elektrische Feld am Ort der Kathode gering gehalten. Es soll sich nach Möglichkeit eine Raumladung vor der Kathode ausbilden. Dieser Betrieb wird durch eine Hilfselektrode (Wehnelt-Zylinder) zwischen Kathode und Anode aufrechterhalten (Abb. 3.1 a). Sie befindet sich auf einem gegenüber der Kathode negativen Potential der Größenordnung — 100 V.

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Literatur zu §3

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1977

Authors and Affiliations

  • Ludwig Reimer
    • 1
  • Gerhard Pfefferkorn
    • 2
  1. 1.Elektronenmikroskopischen Abteilung im Physikalischen Institut der UniversitätMünsterDeutschland
  2. 2.Instituts für Medizinische Physik der UniversitätMünsterDeutschland

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