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Wechselwirkung Elektron-Materie

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Raster-Elektronenmikroskopie

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Zusammenfassung

Um die Wirkungsweise eines SEM und die Kontrastentstehung zu verstehen, ist die Kenntnis der wichtigsten Gesetzmäßigkeiten über die Rückstreuung, Sekundärelektronen-Emission und die gesamte Elektronendiffusion innerhalb der Probe erforderlich.

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Authors and Affiliations

  1. Elektronenmikroskopischen Abteilung im Physikalischen Institut der Universität, Schloßplatz 7, D-4400, Münster, Deutschland

    Professor Dr. Ludwig Reimer (Leiter)

  2. Instituts für Medizinische Physik der Universität, Hüfferstraße 68, D-4400, Münster, Deutschland

    Professor Dr. Gerhard Pfefferkorn (Direktor)

Authors
  1. Professor Dr. Ludwig Reimer
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  2. Professor Dr. Gerhard Pfefferkorn
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Reimer, L., Pfefferkorn, G. (1977). Wechselwirkung Elektron-Materie. In: Raster-Elektronenmikroskopie. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-81112-8_2

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