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Einleitung

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Zusammenfassung

Das Prinzip des Abrasterns einer Oberfläche mit einer Elektronenstrahlsonde wurde von Knoll (1935) vorgeschlagen. Er zeigte durch Experimente mit einer Auflösung von 0,1 mm, daß mit dem Rasterverfahren die Topographie, die Kristallorientierung und Materialunterschiede auf dem Schirm einer Bildröhre abgebildet werden können. Die erste sublichtmikroskopische Auflösung erzielte von Ardenne (1938) mit einem Durchstrahlungs-Rasterelektronenmikroskop. Die weitere historische Entwicklung des SEM ist an verschiedenen Stellen referiert worden (Oatley u.a., 1965; Thornton, 1968; Pfefferkorn, 1970).

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Literatur zu § 1

  1. Ardenne, M. von: Z. Phys. 109, 553 (1938); Z. techn. Phys. 19, 407 (1938)CrossRefADSGoogle Scholar
  2. Ardenne, M. von: Z. techn. Phys. 19, 407 (1938)Google Scholar
  3. Bok, A. B.: In Modern Diffraction and Imaging Techniques in Material Science (ed. S. Amelinckx et al.), p. 655. Amsterdam-London: North Holland Publ. Co. 1970Google Scholar
  4. Knoll, M.: Z. tech. Phys. 16, 467 (1935)Google Scholar
  5. Möllenstedt, G., Lenz, F.: Advan. Electron. Electron Phys. 18, 251 (1963)Google Scholar
  6. Oatley, C. W., Nixon, W. C., Pease, R. F. W.: Advan. Electron. Electron Phys. 21, 181 (1965)CrossRefGoogle Scholar
  7. Pfefferkorn, G.: BEDO 3, 1 (1970)Google Scholar
  8. Thornton, P. R.: Scanning Electron Microscopy. Applications to Materials and Device Science. London: Chapman and Hall 1968Google Scholar
  9. Wegmann, L.: Prakt. Metallographie 5, 241 (1968)Google Scholar

Monographien, Tagungsbände und Bibliographien Monographien

  1. Fujita, T., Tokunaga, M. D. J., Inoue, H.: Atlas of Scanning Electron Microscopy in Medicine. Amsterdam-London-New York: Elsevier Publishing Comp. 1971Google Scholar
  2. Goldstein, J. I., Yakowitz, H.: Practical Scanning Electron Microscopy. New York-London: Plenum Press 1975CrossRefGoogle Scholar
  3. Hearle, J. W. S., Sparrow, J. T., Cross, P. M.: The Use of Scanning Electron Microscope. Oxford-New York-Toronto-Sydney-Braunschweig: Pergamon Press 1972Google Scholar
  4. Heywood, V. H. (ed.): Scanning Electron Microscopy. Systematic and Evolutionary Applications. London-New York: Academic Press 1971Google Scholar
  5. Holt, D. B., Muir, M. D., Grant, P. R., Boswarva, I. M.: Quantitative Scanning Electron Microscopy. London-New York-San Francisco: Academic Press 1974Google Scholar
  6. Oatley, C. W.: The Scanning Electron Microscope, Part I: The instrument. Cambridge: University Press 1972Google Scholar
  7. Meylan, B. A., Butterfield, B. G.: Three-Dimensional Structure of Wood. London: Chapman and Hall 1972Google Scholar
  8. Thornton, P. R.: Scanning Electron Microscopy. Applications to Materials and Device Science. London: Chapman and Hall 1968Google Scholar
  9. Troughton, J., Donaldson, L. A.: Probing Plant Structure. London: Chapman and Hall 1972Google Scholar
  10. Wells, O. C.: Scanning Electron Microscopy. New York: McGraw-Hill Book Comp. 1974Google Scholar

Monographien, Tagungsbände und Bibliographien Tagungsbände

  1. Beiträge zur elektronenmikroskopischen Direktabbildung von Oberflächen (Hrsg. G. Pfefferkorn), ab Bd. 1 (1968) jährlich. Münster: Verlag R. A. Remy, im folgenden abgekürzt als BEDOGoogle Scholar
  2. Proceedings of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium (ed. O. Johari), ab 1969 jährlich. Chicago: IIT Research Institute, im folgenden abgekürzt als IITRI/SEM/1969f.Google Scholar
  3. Scanning Electron Microscopy: Systems and Applications. London-Bristol: Institute of Physics 1973Google Scholar

Monographien, Tagungsbände und Bibliographien Bibliographien

  1. Corvin, I.: IITRI/SEM/1968, 155Google Scholar
  2. Johnson, V.: IITRI/SEM/1969, 483Google Scholar
  3. Wells, O. C.: IITRI/SEM/1970, 509; IITRI/SEM/1971, 587; IITRI/SEM/1972, 375Google Scholar
  4. Boyde, A., Jones, S. J., Bailey, E.: Biomedical Applications of SEM. IITRI/SEM/1973, 697 Young, J.: Physical Sciences. IITRI/SEM/1973, 775Google Scholar
  5. Jones, S. C., Bailey, E., Boyde, A.: Biomedical Applications 1973–74. IITRI/SEM/1974, 835Google Scholar
  6. Echlin, P.: Application of SEM and X-Ray Microanalysis in the Plant Sciences. IITRI/SEM/1974, 477 Stewart, W. D.: Forensic Applications of the SEM. IITRI/SEM/1975, 589Google Scholar
  7. Echlin, P., Gregory, M.: Application of SEM and X-Ray Microanalysis in the Plant Sciences. IITRI/SEM/1975, 737Google Scholar
  8. Johnson, V. E.: SEM in Material Sciences. IITRI/SEM/1975, 763Google Scholar
  9. Bröcker, W., Pfefferkorn, G.: Cathodoluminescence. IITRI/SEM/1976 I, 725Google Scholar
  10. Stewart, W. D.: Forensic Applications of the SEM. IITRI/SEM/1976 I, 739Google Scholar
  11. Johnson, V. E.: SEM in Biology. IITRI/SEM/1976 II, 637Google Scholar
  12. Pfefferkorn, G., Ehrenwerth, U.: Allgemeine Literatursammlung. BEDO, Literatur 6–8, 1, Münster 1975Google Scholar
  13. Fromme, H. G., Pfautsch, M.: Bibliographie zur Methodik und Anwendung der „Kritischen-Punkt-Trocknung“. BEDO, Literatur 6–8, 123, Münster 1975Google Scholar
  14. Bröcker, W., Pfefferkorn, G.: Bibliographie über Kathodolumineszenz. BEDO, Literatur 6–8, 143, Münster 1975Google Scholar
  15. Dannöhl, H. D., Mark, M., Wegmann, L.: Bibliographie über Photoemissions-Elektronenmikroskopie. BEDO, Literatur 6–8, 159, Münster 1975Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1977

Authors and Affiliations

  1. 1.Elektronenmikroskopischen Abteilung im Physikalischen Institut der UniversitätMünsterDeutschland
  2. 2.Instituts für Medizinische Physik der UniversitätMünsterDeutschland

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