Zusammenfassung
Das Prinzip des Abrasterns einer Oberfläche mit einer Elektronenstrahlsonde wurde von Knoll (1935) vorgeschlagen. Er zeigte durch Experimente mit einer Auflösung von 0,1 mm, daß mit dem Rasterverfahren die Topographie, die Kristallorientierung und Materialunterschiede auf dem Schirm einer Bildröhre abgebildet werden können. Die erste sublichtmikroskopische Auflösung erzielte von Ardenne (1938) mit einem Durchstrahlungs-Rasterelektronenmikroskop. Die weitere historische Entwicklung des SEM ist an verschiedenen Stellen referiert worden (Oatley u.a., 1965; Thornton, 1968; Pfefferkorn, 1970).
This is a preview of subscription content, log in via an institution.
Buying options
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Learn about institutional subscriptionsPreview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Literatur zu § 1
Ardenne, M. von: Z. Phys. 109, 553 (1938); Z. techn. Phys. 19, 407 (1938)
Ardenne, M. von: Z. techn. Phys. 19, 407 (1938)
Bok, A. B.: In Modern Diffraction and Imaging Techniques in Material Science (ed. S. Amelinckx et al.), p. 655. Amsterdam-London: North Holland Publ. Co. 1970
Knoll, M.: Z. tech. Phys. 16, 467 (1935)
Möllenstedt, G., Lenz, F.: Advan. Electron. Electron Phys. 18, 251 (1963)
Oatley, C. W., Nixon, W. C., Pease, R. F. W.: Advan. Electron. Electron Phys. 21, 181 (1965)
Pfefferkorn, G.: BEDO 3, 1 (1970)
Thornton, P. R.: Scanning Electron Microscopy. Applications to Materials and Device Science. London: Chapman and Hall 1968
Wegmann, L.: Prakt. Metallographie 5, 241 (1968)
Monographien, Tagungsbände und Bibliographien Monographien
Fujita, T., Tokunaga, M. D. J., Inoue, H.: Atlas of Scanning Electron Microscopy in Medicine. Amsterdam-London-New York: Elsevier Publishing Comp. 1971
Goldstein, J. I., Yakowitz, H.: Practical Scanning Electron Microscopy. New York-London: Plenum Press 1975
Hearle, J. W. S., Sparrow, J. T., Cross, P. M.: The Use of Scanning Electron Microscope. Oxford-New York-Toronto-Sydney-Braunschweig: Pergamon Press 1972
Heywood, V. H. (ed.): Scanning Electron Microscopy. Systematic and Evolutionary Applications. London-New York: Academic Press 1971
Holt, D. B., Muir, M. D., Grant, P. R., Boswarva, I. M.: Quantitative Scanning Electron Microscopy. London-New York-San Francisco: Academic Press 1974
Oatley, C. W.: The Scanning Electron Microscope, Part I: The instrument. Cambridge: University Press 1972
Meylan, B. A., Butterfield, B. G.: Three-Dimensional Structure of Wood. London: Chapman and Hall 1972
Thornton, P. R.: Scanning Electron Microscopy. Applications to Materials and Device Science. London: Chapman and Hall 1968
Troughton, J., Donaldson, L. A.: Probing Plant Structure. London: Chapman and Hall 1972
Wells, O. C.: Scanning Electron Microscopy. New York: McGraw-Hill Book Comp. 1974
Monographien, Tagungsbände und Bibliographien Tagungsbände
Beiträge zur elektronenmikroskopischen Direktabbildung von Oberflächen (Hrsg. G. Pfefferkorn), ab Bd. 1 (1968) jährlich. Münster: Verlag R. A. Remy, im folgenden abgekürzt als BEDO
Proceedings of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium (ed. O. Johari), ab 1969 jährlich. Chicago: IIT Research Institute, im folgenden abgekürzt als IITRI/SEM/1969f.
Scanning Electron Microscopy: Systems and Applications. London-Bristol: Institute of Physics 1973
Monographien, Tagungsbände und Bibliographien Bibliographien
Corvin, I.: IITRI/SEM/1968, 155
Johnson, V.: IITRI/SEM/1969, 483
Wells, O. C.: IITRI/SEM/1970, 509; IITRI/SEM/1971, 587; IITRI/SEM/1972, 375
Boyde, A., Jones, S. J., Bailey, E.: Biomedical Applications of SEM. IITRI/SEM/1973, 697 Young, J.: Physical Sciences. IITRI/SEM/1973, 775
Jones, S. C., Bailey, E., Boyde, A.: Biomedical Applications 1973–74. IITRI/SEM/1974, 835
Echlin, P.: Application of SEM and X-Ray Microanalysis in the Plant Sciences. IITRI/SEM/1974, 477 Stewart, W. D.: Forensic Applications of the SEM. IITRI/SEM/1975, 589
Echlin, P., Gregory, M.: Application of SEM and X-Ray Microanalysis in the Plant Sciences. IITRI/SEM/1975, 737
Johnson, V. E.: SEM in Material Sciences. IITRI/SEM/1975, 763
Bröcker, W., Pfefferkorn, G.: Cathodoluminescence. IITRI/SEM/1976 I, 725
Stewart, W. D.: Forensic Applications of the SEM. IITRI/SEM/1976 I, 739
Johnson, V. E.: SEM in Biology. IITRI/SEM/1976 II, 637
Pfefferkorn, G., Ehrenwerth, U.: Allgemeine Literatursammlung. BEDO, Literatur 6–8, 1, Münster 1975
Fromme, H. G., Pfautsch, M.: Bibliographie zur Methodik und Anwendung der „Kritischen-Punkt-Trocknung“. BEDO, Literatur 6–8, 123, Münster 1975
Bröcker, W., Pfefferkorn, G.: Bibliographie über Kathodolumineszenz. BEDO, Literatur 6–8, 143, Münster 1975
Dannöhl, H. D., Mark, M., Wegmann, L.: Bibliographie über Photoemissions-Elektronenmikroskopie. BEDO, Literatur 6–8, 159, Münster 1975
Author information
Authors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 1977 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Reimer, L., Pfefferkorn, G. (1977). Einleitung. In: Raster-Elektronenmikroskopie. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-81112-8_1
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-81112-8_1
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-08154-8
Online ISBN: 978-3-642-81112-8
eBook Packages: Springer Book Archive