Glimmentladungsmassenspektrometrie

Zusammenfassung

Die Forschung und Entwicklung im Bereich der massenspektrometrischen Elementanalyse ist derzeit von raschem Fortschritt und großer Euphorie geprägt. In der Tat hat es wesentliche Verbesserungen hinsichtlich der Betriebseigenschaften von Ionenquellen, der Verfügbarkeit kommerzieller Geräte und der Vielseitigkeit und Leistungsfähigkeit bei analytischen Anwendungen gegeben [1]. Die breiteste Akzeptanz hat dabei die Massenspektrometrie mit dem induktiv gekoppelten Hochfrequenzplasma als Ionenquelle (ICP/MS — Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) gefunden, die sieh insbesondere für die Lösungsanalyse vielerorts als Arbeitspferd bewähren konnte. Für die Oberflächen- und Tiefenprofilanalyse vermag die Massenspektrometrie mit zerstäubten Neutralteilchen (SNMS — Sputtered Neutrals Mass Spectrometry) durch ihre quantitativen Möglichkeiten bei gleichzeitig hoher Tiefenauflösung zu überzeugen, wenngleich die Akzeptanz noch eher zögernd ist. Ähnliches gilt bisher auch noch für die Glimmentladungsmassenspektrometrie (GDMS — Glow Discharge Mass Spectrometry), die auf der Skala der modernen massenspektrometrischen Analysentechniken den Bereich der direkten Analyse leitender und halbleitender Festkörper mit hohem Nachweisvermögen abdeckt.