Zusammenfassung
ESCA (nach K. Siegbahn:ElectronSpectroscopy forChemicalAnalysis) beruht auf dem Photoeffekt an inneren Atomorbitalen und ist auf alle Substanzen anwendbar. Die Routineuntersuchungen werden überwiegend an Festkörpern durchgeführt. Informationsträger sind Photo- und Auger- Elektronen, die verlustfrei von der Festkörperoberfläche emittiert wer¬den. Aufgrund der Oberflächenempfindlichkeit gehört ESCA zu den mikrochemischen Verfahren. Die erfaßte Schichtdicke ist gegeben durch die Austrittstiefe der Photo- und Auger-Elektronen. Sie beträgt einige Mono- lagen, maximal 10 nm. Man kann davon ausgehen, daß bei einer untersuchten Fläche von 0,5 cm2 und homogener Verteilung eines Elementes in den obersten 10 nm eine Konzentration von 1% noch sicher nachgewiesen sind. Die Empfindlichkeitsunterschiede von Element zu Element liegen innerhalb eines Faktors 10. Matrixeffekte sind noch wesentlich geringer. Deshalb sind gute Voraussetzungen für eine quantitative Analyse gegeben. ESCA ist zwar nicht direkt ein Verfahren zur Spurenanalyse, wohl aber nach geeigneter Anreicherung. Der besondere Vorteil von ESCA’ liegt darin, daß man nicht nur Elemente nachweist, sondern an Hand von chemischen Verschiebungen, Linienaufspaltungen und Shake-up-Satel-
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Holm, R., Storp, S. (1984). ESCA. Eine Methode zur Bestimmung von Elementen und ihren Bindungszuständen in der Oberfläche von Festkörpern. In: Fresenius, W., Günzler, H., Huber, W., Lüderwald, I., Tölg, G. (eds) Analytiker-Taschenbuch. Analytiker-Taschenbuch, vol 4. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-69343-4_8
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