Röntgenspektralanalyse am Rasterelektronenmikroskop I. Energiedispersive Spektrometrie

Zusammenfassung

Die Röntgenspektralanalyse mit Elektronenstrahlanregung ist ein leistungsstarkes Verfahren zur mikro-topologischen Multielement-Analyse. Es können Probeninhomogenitäten (Einschlüsse, Ausscheidungen, Entmischungen, Phasenumwandlungen usw.) in praktisch allen anorganischen Matrices, aber auch Mikrobereiche organischer Proben phänomenologisch und in ihrer Elementzusammensetzung untersucht werden. Seit etwa 10 Jahren ergänzt diese ideale Kombination von Rasterelektronenmikroskop (REM) und energiedispersivem Röntgenspektrometer (EDS) die Elektronenstrahlmikrosonde (EMS) Die „energiedispersive“ Spektrometrie löste vielfach die „wellenlängendispersive“ ab, die sich aus der klassischen Technik der EMS entwickelt hat. Die Strahlenzerlegung erfolgt heute mit Hilfe eines Halbleiterdetektors in Verbindung mit Vielkanalanalysatoren (Quantencharakter der Strahlung). Derzeit werden viermal mehr energiedispersive als wellenlängendispersive Spektrometer gebaut, doch bietet die wellenlängendispersive Spektrometrie einige analytische Möglichkeiten, die sie noch unersetzbar erscheinen lassen (vgl. Teil II).