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Spektroskopische Infrarotellipsometrie

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Analytiker-Taschenbuch

Part of the book series: Analytiker-Taschenbuch ((ANALYTIKERTB,volume 14))

Zusammenfassung

Die Ellipsometrie ist im UV/VIS-Bereich eine verbreitete Meβmethode, speziell für die Charakterisierung von Schichten (z.B. in der Halbleiterphysik). Im Infrarotgebiet wurde die spektroskopische Ellipsometrie seit 1980 routinemäβig durch die Kopplung eines photometrischen Eilipsometers mit einem. Fourier Spektrometer realisiert. Erste Ansätze seit 1955 [1] konnten sich nicht durchsetzen, da die intensitätsschwachen Dispersionsspektrometer verwendet wurden.

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Authors and Affiliations

  1. Laboratorium für spektroskopische Methoden der Umweltanalytik, Institut für Spektroehemie und angewandte Spektroskopie, Rudower Chaussee 5, D-12489, Berlin, Germany

    A. Röseler

Authors
  1. A. Röseler
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Editors and Affiliations

  1. Bismarckstr. 4, D-69469, Weinheim, Germany

    Helmut Günzler

  2. Inst. f. Ökolog. Chemie und Abfallanalytik, Technische Universität, Hagenring 30, D-38106, Braunschweig, Germany

    A. Müfit Bahadir

  3. Fachbereich Chemie, Universität Leipzig, Talstr. 35, D-04103, Leipzig, Germany

    Rolf Borsdorf

  4. Institut für anorganische und analytische Chemie Chemische Fakultät, Friedrich-Schiller-Universität, Steiger 3, D-07743, Jena, Germany

    Klaus Danzer

  5. Institut Fresenius Im Maisei, D-65232, Taunusstein, Germany

    Wilhelm Fresenius

  6. Inst. f. Lebensmittelwissenschaft und Lebensmittelchemie der Rheinischen, Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Endenicher Allee 11–13, 53115, Bonn, Germany

    Rudolf Galensa

  7. Weimarerstr. 69, D-67071, Ludwigshafen, Germany

    Walter Huber

  8. Dr. Karl Thomae GmbH Analytik/Qualitätskontrolle, Postfach 1755, D-88400, Biberach, Germany

    Ingo Lüderwald

  9. Inst. f. Analyt. u. Anorg. Chemie, TU Clausthal-Zellerfeld, Paul-Ernst-Str. 4, D-38678, Clausthal-Zellerfeld, Germany

    Georg Schwedt

  10. Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie, Postfach 10 13 52, D-44013, Dortmund, Germany

    Günter Tölg

  11. Robert-Bosch-Krankenhaus, Auerbachstr. 110, D-70376, Stuttgart, Germany

    Hermann Wisser

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© 1996 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Röseler, A. (1996). Spektroskopische Infrarotellipsometrie. In: Günzler, H., et al. Analytiker-Taschenbuch. Analytiker-Taschenbuch, vol 14. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-60995-4_2

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-60995-4_2

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

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