Zusammenfassung
Wie jede industrielle Fertigung kann auch die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu Umweltbelastungen führen, wenn keine geeigneten Gegenmaßnahmen ergriffen werden. Zu erinnern ist in diesem Zusammenhang an Berichte aus dem „Mekka“ der Halbleiterindustrie - dem kalifornischen „Silicon-Valley“ - über Boden- und Gewässerverunreinigungen durch Rückstände aus dem Halbleiterfertigungsprozeß [1] und Studien der Firmen DEC (1986) und IBM (1992) über angeblich erhöhte Fehlgeburtenrate bei Mit-arbeiterinnen in Halbleiterfertigungen [2].
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Literatur
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Grabsch, A., Deppe, HR., Kaller, P., Roos, G. (1996). Produktions- und produktintegrierter Umweltschutz in der elektrotechnischen Industrie. In: Brauer, H. (eds) Handbuch des Umweltschutzes und der Umweltschutztechnik. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-60943-5_14
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