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Umweltschutz und Arbeitssicherheit

  • Werner Prost
Chapter

Zusammenfassung

Halbleitermaterialien werden häufig aus toxischen und/oder phyrophoren Stoffen erstellt oder mit solchen Stoffen behandelt. In der Herstellungs-, Verarbeitungs- und Charakterisierungstechnik werden zudem Verfahren eingesetzt, die strengen Kontrollen bezüglich der Arbeitssicherheit unterliegen. In der Halbleitertechnologie sind hohe Aufwendungen erforderlich, um den Anforderungen des Umweltschutzes Rechnung zu tragen. In diesem Kapitel werden die Grundverfahrensweisen für die Säulen des Umweltschutzes im Bereich der III/V Halbleitertechnologie skizziert:

  • Arbeitssicherheit

  • Emissionsschutz

  • Versorgung, Lagerung, Entsorgung.

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Literatur

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1997

Authors and Affiliations

  • Werner Prost
    • 1
  1. 1.Fachbereich ElektrotechnikGerhard-Mercator-UniversitätDuisbergDeutschland

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