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Abscheidung und Charakterisierung dielektrischer Schichten

  • Werner Prost

Zusammenfassung

Dünne nichtleitende amorphe Schichten werden in der Mikroelektronik unter anderem eingesetzt als:
  • Isolationsschichten für Leiterbahnkreuzungen,

  • dielektrische Füllungen für Metall-Isolator-Metall (MIM) Kondensatoren,

  • Gate-Isolationsschicht in Feldeffekttransistoren

  • zur Passivierung von Halbleiteroberflächen und

  • zur strukturierten Abdeckung von Halbleiteroberflächen für die selektive Epi­taxie oder Dotierung.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1997

Authors and Affiliations

  • Werner Prost
    • 1
  1. 1.Fachbereich ElektrotechnikGerhard-Mercator-UniversitätDuisbergDeutschland

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