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Material-Charakterisierung von Halbleiter-Heterostrukturen

  • Werner Prost

Zusammenfassung

Die Qualität von Halbleitermaterialien wird durch technische Größen wie
  • Dotierung, Verunreinigung

  • Dicke

  • Zusammensetzung bei Mischkristallen

  • Grenzflächenschärfe

  • Kristallperfektion

angegeben. Ihre Kenntnis ist für die weitere Materialoptimierung unerläßlich. Bereits vor der Strukturierung der Materialien kann mit einigen Verfahren ohne jegliche Präparationstechnik die Schichtqualität sehr genau beurteilt werden. In diesem Kapitel werden die für III/V-Halbleiterheterostrukturen am häufigsten eingesetzten Verfahren besprochen: Photolumineszenz und Röntgenbeugung.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1997

Authors and Affiliations

  • Werner Prost
    • 1
  1. 1.Fachbereich ElektrotechnikGerhard-Mercator-UniversitätDuisbergDeutschland

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