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Halbleiterkristallzucht (GaAs)

  • Werner Prost

Zusammenfassung

Verbindungshalbleiterschichten des Types AIIIBv werden meist auf GaAs- und InP-Substraten hergestellt. Am Beispiel des GaAs-Substrats sei der Herstellungsprozeß vom Ausgangsmaterial über die Einkristallzucht bis zur Herstellung der kreisförmigen Kristallscheibe, dem Substrat oder Wafer, dargestellt.

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Literatur

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1997

Authors and Affiliations

  • Werner Prost
    • 1
  1. 1.Fachbereich ElektrotechnikGerhard-Mercator-UniversitätDuisbergDeutschland

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