Kreativität bei der Miniaturisierung: Innovationen in der Mikrosystemtechnik

Zusammenfassung

Die Mikrosystemtechnik, d. h. die intelligente Kombination von Mikroelektronik, -sensorik und -aktorik, wird als eine der wichtigsten Technologien des nächsten Jahrhunderts angesehen, und es werden hohe Wachstumsraten und Umsätze vorausgesagt. Viele der für die Herstellung mikroelektronischer Schaltungen entwickelten Technologien wurden in der Vergangenheit erweitert und modifiziert, um so auch für die Fertigung von Mikrosensoren und -aktoren eingesetzt werden zu können. Als Beispiel wird das im Forschungszentrum Karlsruhe entwickelte LIGA-Verfahren kurz beschrieben. Drei Beispiele für Mikrosysteme werden vorgestellt, die unterschiedliche Bereiche repräsentieren: ein Mikrospektrometer für die Mikrooptik, eine „künstliche Nase“ für chemische Mikrosensorik und eine Mikropumpe für die Mikroaktorik. Die im Forschungszentrum durchgeführten Forschungs-und Entwicklungsarbeiten befaßten sich auch besonders mit den Fertigungstechniken dieser komplexen Systeme, um so eine Markteinführung dieser Systeme durch die Industrie vorzubereiten. Es wird aufgezeigt, welche Innovationen zur Weiterentwicklung der Prozeßtechniken, zur Entwicklung funktionstüchtiger Labormuster von Mikrosystemen und zur Umsetzung in marktfähige Produkte notwendig waren.

Dr., Jahrgang 1942, Studium der Physik, Promotion 1972, seit 1968 wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Kernverfahrenstechnik des Forschungszentrums Karlsruhe. Ab 1985 Arbeiten im Rahmen der Mikrostrukturtechnik, u. a. verantwortlich für die Entwicklungsarbeiten zum LIGA-Verfahren. Seit 1992 Leiter des neu gegründeten Projektes Mikrosystemtechnik.