Zusammenfassung
Bei der Charakterisierung von dünnen Schichten und Dünnschichtsystemen unterscheidet man zwischen Methoden zur Bestimmung optischer, mechanischer und elektrischer Kenngrößen (physikalische Meßtechnik) und analytischen Verfahren zur Bestimmung der chemischen, stöchiometrischen und strukturellen Zusammensetzung (Oberflächenanalyseverfahren).
Die Abschnitte 4.1 bis 4.3 wurden von Herm K.H. Müller während seiner Tätigkeit am Institut für Oberflächen-und Schichtanalytik GmbH (IFOS) an dcr Universität Kaiscrslautern verfaßt. Den Abschnitt 4.4.2 verfaßte Herr G. Reiss während seiner Tätigkeit am Institut fur Angewandte Physik an der Universität Regensburg.
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Bartella, J., Hoffmann, H., Müller, KH., Reiss, G. (1994). Moderne Verfahren der Oberflächen- und Dünnschichtanalyse. In: Kienel, G. (eds) Vakuumbeschichtung. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57904-2_4
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