Zusammenfassung
Gängigste und genaueste Methode zur Ermittlung des elektrischen Schichtwiderstandes ist heute die Vier-Punkte-Meßtechnik, die an anderer Stelle in diesem Buch beschrieben wird. Als berührendes Verfahren ist sie jedoch zur in-situ-Analyse nicht geeignet. Hier bieten sich berührungslos arbeitende Techniken an, von denen das Wirbelstromverfahren weite Verbreitung in der Anwendung gefunden hat.
This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Editor information
Rights and permissions
Copyright information
© 1994 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Bartella, J., Benes, E., Herrmann, R., Kienel, G., Röll, K., Sommerkamp, P. (1994). Messungen an dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses. In: Kienel, G. (eds) Vakuumbeschichtung. VDI-Buch. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57904-2_2
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-57904-2_2
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-642-63511-3
Online ISBN: 978-3-642-57904-2
eBook Packages: Springer Book Archive