Zusammenfassung
Sensoren bilden heute die wichtigsten Anwendungen und den bedeutendsten Markt der mikrosystemtechnischen Anwendungen. Dabei stehen zunächst relativ einfache Anwendungen im Vordergrund, die nur zur meßtechnischen Erfassung einer physikalischen Größe dienen und über keine integrierte Signalauswertung verfügen. Zunehmend werden jedoch auch Systeme entwickelt, die alle für eine Anwendung erforderlichen Größen erfassen und über eine integrierte komplexe Auswerteelektronik verfügen (intelligente Sensoren) oder aus einer größeren Anzahl einzelner Komponenten bestehen und durch die parallele Erfassung einer Vielzahl von Signalen eine örtliche Auflösung oder die Identifikation und Verarbeitung komplexer Merkmalsmuster ermöglichen (künstliches Auge, künstliche Nase).
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Kasper, M. (2000). Sensoren. In: Mikrosystementwurf. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7_13
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