Skip to main content
SpringerLink
Log in

Einführung

  • Chapter
Mikrosystementwurf

Zusammenfassung

Die Mikrosystemtechnik ist eine junge Disziplin, von der erwartet wird, daß sie ähnlich der Mikroelektronik neue technische Anwendungsmöglichkeiten eröffnet und damit wesentliche Bereiche des täglichen Lebens beeinflussen wird.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Log in via an institution
Chapter
USD 29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD 69.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
Softcover Book
USD 59.99
Price excludes VAT (USA)
  • Compact, lightweight edition
  • Dispatched in 3 to 5 business days
  • Free shipping worldwide - see info

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

  1. Alexander, R. McNeill: Elastic Mechanics in Animal Movement. Cambridge University Press, Cambridge, New York, New Rochelle (1988)

    Google Scholar 

  2. Alexander, R. McNeill: Exploring biomechanics: Animals in motion. Scientific American Library, New York (1992)

    Google Scholar 

  3. Baehr, Hans Dieter; Stephan, Karl: Wärme und Stoffübertragung. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1994)

    Google Scholar 

  4. Bakoglu, H. B.: Circuits, Interconnections and Packaging for VLSI. Addison-Wesley, Reading; Menlo Park, New York (1990)

    Google Scholar 

  5. Bolz, Ray E.; Tuve, George L. (eds.): CRC Handbook of tables for Applied Engineering Science. CRC Press, Boca Raton, 2. ed. (1987)

    Google Scholar 

  6. Brock, Thomas D.; Madigan, Michael T.: Biology of Microorganisms. Prentice Hall, Englewood Cliffs, 2. ed. (1988)

    Google Scholar 

  7. Crandall, B. C. (ed.): Nanotechnology: Molecular Speculations on Global Abundance. MIT Press, Cambridge, London (1996)

    Google Scholar 

  8. Drexler, K. Eric; Peterson, Chris; Pergarnit, Gayle: Experiment Zukunft: die Nanotechnologische Revolution. Addison-Wesley, Bonn, Paris, Reading (1994)

    Google Scholar 

  9. Eckert, Michael; Schubert, Helmut: Kristalle, Elektronen, Transistoren. Von der Gelehrtenstube zur Industrieforschung. Rowohlt, Reinbeck. (1986)

    Google Scholar 

  10. Feynman, Richard: There’s Plenty of Room at the Bottom. Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 1 (1992) p. 60–66

    Article  Google Scholar 

  11. Feynman, Richard: Infinitesimal Machinery. Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 2 (1993) p. 4–14

    Article  Google Scholar 

  12. Galileo Galilei (1638): Unterredung und mathematische Demonstrationen über zwei neue Wissenszweige die Mechanik und die Fallgesetze betreffen. In: Mudry, Anna (Hrsg.): Galileio Galilei, Schriften, Briefe, Dokumente. Bd. 1, Rütten & Loening, Berlin (1987)

    Google Scholar 

  13. Hicks, Donald E.: Evolving complexity and cost dynarnics. IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing, Vol. 9 (1996), p. 294–302

    Article  Google Scholar 

  14. Kamoshida, Mototaka; Inui, Hirotomo; Ohta, Toshiyuki; Kasama, Kunihiko.: Size and Number of Partic1es being capable of causing defects in serniconductor device manufacturing. IEICE Transaction on Electronics, Vol. E79-C (1996) p. 264–270

    Google Scholar 

  15. Kästner, Erich: Guillivers Reisen, mit Bildern von Horst Lemke. Atrium, Zürich (1961)

    Google Scholar 

  16. Knieling, Michael: Technologies and Market Developments for Microsystem Technologies. In: Reichl, Herbert; Kahn, Rudolf (Hrsg.): Micro System Technologies 91, 2nd int. Conference, vde Verlag, Berlin, Offenbach (1991)

    Google Scholar 

  17. Menz, Wolfgang; Mohr, Jürgen: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VCH, Weinheim, New York, Basel, 2. Aufl. (1997)

    Google Scholar 

  18. Mikrosystemtechnik, Förderschwerpunkt im Rahmen des Zukunftkonzeptes Informationstechnik. Bundesministerium für Forschung und Technologie, 2. Aufl. (1992)

    Google Scholar 

  19. Neidhardt, Frederick C.; Ingraham, John L.; Schaechter, Moselio: Physiology of bacterial cell: a molecular approach. Sinauer Associates, Sunderland (1990)

    Google Scholar 

  20. Nexus: Market analysis for microsystems 1996–2002, http://www.nexus-emsto.com/ market-analysis/

    Google Scholar 

  21. Pawlowski, Juri: Die ähnlichkeitstheorie in der physikalisch-technischen Forschung, Grundlagen und Anwendungen. Springer, Berlin, Heidelberg, New York (1971)

    Book  Google Scholar 

  22. Penzlin, Heinz: Lehrbuch der Tierphysiologie. Gustav Fischer, Jena, 5. Aufl. (1991)

    Google Scholar 

  23. Roth, Karlheinz: Konstruieren mit Konstruktionskatalogen. Bd. 1 u. 2, Springer, Berlin, Heidelberg, New York, 2. Aufl. (1994)

    Google Scholar 

  24. Sah, Chih-Tang: Evolution of the MOS Transistor — From Conception to VLSI. Proceedings of the IEE, Vol. 76 (1988) p. 1280–1326

    Article  Google Scholar 

  25. Schaudei, Diether: Mikrosystemtechnik: Hoffnungsträger oder Totengräber für die Sensorindustrie? atp Automatisierungstechnische Praxis, Bd. 38 (1996) S. 9–17

    Google Scholar 

  26. Schrnidt-Nielsen, Knut: Animal physiology: adaptation and environment. Cambridge University Press, Cambridge, New York, Melbourne, 5. ed. (1997)

    Google Scholar 

  27. Schulenburg, Mathias: Nanotechnologie: Innovationsschub aus dem Nanokosmus.. Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, (1998)

    Google Scholar 

  28. Serniconductor Industry Association: The National Technology Roadmap for Semiconductors. http://www.sematech.orglpublic/roadmap.

    Google Scholar 

  29. Spektrum der Wissenschaft, Dossier: Mikrosystemtechnik. 2. Aufl. (1996)

    Google Scholar 

  30. Stanier, Roger Y.; Ingraham, John L.; Wheelis, Mark L.; Painter, Page R.: General Microbiology. Macrnillan, Houndmills, London, 5. ed. (1988)

    Google Scholar 

  31. Stapper, Charles H.; Rosner, Raymond J.: Integrated circuit yield management analysis: Development and Implementation. IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing, Vol. 8 (1995) p. 95–102

    Article  Google Scholar 

  32. Sze, S. M.: Semiconductors devices, physics and technology. John Wiley Sons, New York, Chichester, Brisbane (1985)

    Google Scholar 

  33. Trimmer, William (ed.): Micromechanics and MEMS: classical and seminal papers to 1990. IEEE Press, New York (1996)

    Google Scholar 

  34. Truckenbrodt, Erich: Fluidmechanik. Bd. 2, Springer, Berlin, Heidelberg, New York, 4. Aufl. (1997)

    Google Scholar 

  35. Tummala, Rao R.; Pettit, Joseph M.: Multichip Integration for Revolutionary Electronics in the 21th Century. In: Reichl, Herbert; Heuberger, Anton (Hrsg.): Micro System Technologies 94, 4th int. Conference, vde Verlag, Berlin, Offenbach (1994)

    Google Scholar 

  36. Vogel, Steven: Life’s Devices: the physical world of animals and plants. Princeton University Press, Princeton (1988)

    Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

  1. Technische Universität Hamburg-Harburg, Eißendorfer Straße 42, 21073, Hamburg

    Prof. Dr.-Ing. Manfred Kasper

Authors
  1. Prof. Dr.-Ing. Manfred Kasper
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 2000 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

About this chapter

Cite this chapter

Kasper, M. (2000). Einführung. In: Mikrosystementwurf. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7_1

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7_1

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-66497-0

  • Online ISBN: 978-3-642-57123-7

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics

Search

Navigation