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Keramische Komponenten für Fahrzeug-Gasturbinen pp 87–105Cite as

Abscheiden von Siliziumnitridschutzschichten mit Hilfe der CVD-Technik

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Zusammenfassung

Reaktionsgesintertes Siliziumnitrid (RBSN) und heiBgecreStes Si­liziumnitrid (HPSN) sind mögliche Werkstoffe fUr den HeiBteil von Gasturbinen. Ihre Gebrauchseigenschaften werden zu einem we­sentlichen Teil durch ihr Oxidationsverhalten bestimmt. Bei al­len Silizidwerkstoffen sowie Siliziumnitrid und Siliziumkarbid hangt die Oxidationsbestandigkeit von den Eigenschaften der sich bildenden Siliziumdioxidschicht ab. In die Oxidschicht eingebaute Fremdionen, wie z.B. Ca++ und Mg++, erhOhen die Sauerstoffionen­diffusion und verringern dadurch die Oxidationsbeständigkeit.

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Authors and Affiliations

  1. Daimler-Benz AG Stuttgart, Deutschland

    W. Räuchle & D. Rösch

Authors
  1. W. Räuchle
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  2. D. Rösch
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Editors and Affiliations

  1. Instituts für Werkstoff-Forschung, Deutschen Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., Köln-Wahn, Deutschland

    Wolfgang Bunk (Direktor) & Manfred Böhmer (Wissenschaftlicher Mitarbeiter) (Direktor) &  (Wissenschaftlicher Mitarbeiter)

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© 1978 Springer-Verlag Berlin Heidelberg

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Räuchle, W., Rösch, D. (1978). Abscheiden von Siliziumnitridschutzschichten mit Hilfe der CVD-Technik. In: Bunk, W., Böhmer, M. (eds) Keramische Komponenten für Fahrzeug-Gasturbinen. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-52198-0_6

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-52198-0_6

  • Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg

  • Print ISBN: 978-3-540-09049-6

  • Online ISBN: 978-3-642-52198-0

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