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Berechnung von Kryopumpen

  • René A. Haefer

Zusammenfassung

Ebenso wie andere Pumpen kennzeichnet man auch Kryopumpen durch die Größen: erreichbarer Enddruck p, Saugvermögen S(p) als Funktion des Druckes p, Startdruck p. Für die Konstruktion und den praktischen Einsatz sind aber außerdem noch folgende Fragen bzw. Alternativen von Bedeutung:
  • Beseitigung der schwer bzw. nicht kondensierbaren Komponenten (H, Ne, He) durch Kombination der Kondensationspumpe mit einer Kryosorptionsstufe oder einer anderen Pumpe;

  • Thermische Belastung der Kryoflächen, Kältemittelbedarf der Bad- sowie der Verdampfer-Kryopumpe, Kälteleistung für die Refrigerator-Kryopumpe;

  • Einfluß der geometrischen Konfiguration der Kryopumpe auf das spezifische Saugvermögen;

  • Maximale Kondensat dicke und ununterbrochene Betriebsdauer.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1981

Authors and Affiliations

  • René A. Haefer
    • 1
    • 2
  1. 1.Forschungszentrum für ElektronenmikroskopieTechnischen Universität GrazÖsterreich
  2. 2.Konzerngruppe Physikalische GrundlagenGebrüder Sulzer AGWinterthurSchweiz

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