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Kryogetterung an Metallfilmen, 80 K-Titan-Sublimationspumpe

  • René A. Haefer
Chapter

Zusammenfassung

Die Wirkung einer Getterpumpe beruht darauf, daß chemisch aktive Gase vom Getter durch Chemisorption, Bildung chemischer Verbindungen und Diffusion aufge-nommen werden. Zur Erzeugung hoher Vakua in dynamischen Systemen kommen als Getter nur hochschmelzende, in genügender Reinheit darstellbare Metalle, wie etwa Zr, Mo, Nb, Ta und Ti in Betracht oder Legierungen, die diese Metalle enthalten [7.1; 7.2]. Auf diesem Gebiet erzielte man in den letzten Jahren entscheidende Fortschritte: 1962 wurde in drei Laboratorien [7.3–7.5] gleichzeitig entdeckt, daß die an sich seit langem bekannte Pumpwirkung eines Titanfilms erheblich verbessert wird, wenn dieser auf einer LN -gekühlten Unterlage statt auf einer Fläche von Raumtemperatur niedergeschlagen wird (Abb.7.1 und Tabelle 7.1).

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1981

Authors and Affiliations

  • René A. Haefer
    • 1
    • 2
  1. 1.Forschungszentrum für ElektronenmikroskopieTechnischen Universität GrazÖsterreich
  2. 2.Konzerngruppe Physikalische GrundlagenGebrüder Sulzer AGWinterthurSchweiz

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