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Zusammenfassung

An Hochvakuumanlagen für den Chargen- und Routinebetrieb stellt man heutzutage die Forderungen nach möglichst kurzer Pumpzeit und möglichst einfachem Aufbau der Anlage. In besonderen Fällen, z. B. in der Elektronenmikroskopie, gesellt sich zu diesen Forderungen noch als dritte diejenige der Freiheit von Vibrationen, wie sie von der rotierenden Pumpe übertragen werden können. Hochvakuumanlagen, die diese Forderungen weitgehend erfüllen, sind in der letzten Zeit für die verschiedensten Zwecke bei uns entwickelt worden, und es soll daher durch Erläuterung von einigen dabei gemachten Erfahrungen die Frage diskutiert werden, inwieweit diese Erfahrungen auch in der Elektronenmikroskopie nutzbar gemacht werden können.

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Copyright information

© Springer-Verlag OHG. Berlin · Göttingen · Heidelberg 1960

Authors and Affiliations

  • R. A. Haefer
    • 1
  • K.-H. Mirgel
    • 2
  • H. Everding
    • 3
  • A. Engel
    • 4
  • O. Wolff
    • 4
  1. 1.Balzers Gerätebau-AnstaltLiechtenstein
  2. 2.E. Leybold’s NachfolgerKöln-BayentalDeutschland
  3. 3.Institut für Elektronenmikroskopie am Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-GesellschaftBerlin-DahlemDeutschland
  4. 4.Wernerwerk für Meßtechnik der Siemens & Halske AGDeutschland

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