Analyse der Voraussetzungen für eine Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen Partikeln

Zusammenfassung

Luftgetragene Partikel innerhalb einer reinen Fertigungsumgebung werden von den unterschiedlichsten Quellen in die Umgebungsluft eingebracht (Buzek 1992c). Die Fertigungsumgebung, die Fertigungseinrichtung, die Rohstoffe, der Prozeß, das Produkt selbst, der Betrieb, die Reinigung und das Personal sind hierbei besonders hervorzuheben. Aufgrund der großen Vielfalt von luftgetragenen Partikeln ist für eine sichere Beurteilung des zu vermessenden Partikels der Nachweis von möglichst vielen charakteristischen Eigenschaften notwendig (Fujii 1996a). Für eine Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln ¡st der direkte Nachweis von charakteristischen Eigenschaften eine Voraussetzung.