Einleitung

Zusammenfassung

In reinen Fertigungsumgebungen wie z.B. in der Halbleitertechnik, der Flachbildschirmtechnik, der Luft- und Raumfahrtindustrie, der Mikrosystemtechnik, der Pharmazie, der Biotechnologie, der Lebensmitteltechnik, der Kosmetikindustrie, sowie in der Medizintechnik stellen luftgetragene Partikel ein Gefährdungspotential für das herzustellende Produkt und/oder für den Menschen dar (Berg 1993). Zur Reduzierung des Gefährdungspotentials wird in diesen Produktionsbereichen die Reinraumtechnik eingesetzt (Bohrer 1989, Gail 1993a, Kölblin 1995, Seyfarth 1989, Ziller 1993). Mit Hilfe der Reinraumtechnik können luftgetragene Partikel in ihrer Anzahl stark reduziert und auf einem bestimmten Niveau gehalten werden (Käppeli 1993). Die Größe und Anzahl der maximal zulässigen Partikelzahlen in der Umgebungsluft sind in Richtlinien und Standards (VDI 2083 1995) festgeschrieben und sind als Reinheitsklassen definiert. Die geforderte Spezifikation des herzustellenden Produkts bzgl. der Partikelreinheit entscheidet über die einzusetzende Reinheitsklasse der Fertigungsumgebung (Berendt 1993, Kölblin 1996, Weber 1993a).