Zusammenfassung
Der anodische Vakuumbogen als relativ neues PVD-Verfahren stellt eine rein metallische Plasmaquelle dar, die einen im Bereich von 1% bis 30% einstellbaren Ionisationsgrad besitzt. Die kinetische Energie der kondensierenden Metallionen liegt in der Größenordnung einiger Elektronenvolt. Aufgrund des im Vergleich zum Sputtern viel höheren Ionisationsgrades eröffnet sich hier die Möglichkeit, die kinetische Energie der kondensierenden Ionen durch das Anlegen einer Biasspannung an das Substrat gezielt zu vergrößern und damit die Schichteigenschaften, wie z.B. die Haftung und die Verschleißbeständigkeit zu verbessern, bzw. die thermische Belastung des Kunststoffes während der Beschichtung zu beeinflussen. Die wenigen wissenschaftlichen Arbeiten auf diesem Gebiet befassen sich hauptsächlich mit der plasmaphysikalischen Beschreibung des anodischen Bogens und den Transportvorgängen von Teilchen in Metalldampfplasmen (vornehmlich in Kupferdampfplasmen).
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
Preview
Unable to display preview. Download preview PDF.
Author information
Authors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 1998 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Markschläger, P. (1998). Zusammenfassung und Ausblick. In: Reaktive Abscheidung von Metalloxiden auf Polycarbonat zur Erzeugung transparenter Verschleißschutzschichten. IPA-IAO Forschung und Praxis, vol 278. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47967-0_9
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47967-0_9
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-65502-2
Online ISBN: 978-3-642-47967-0
eBook Packages: Springer Book Archive