Zusammenfassung
Aufbauend auf dem Stand der Technik und der Zielsetzung ergab die Analyse das Fehlerpotential und die Schwachstellen der Chipfertigung. Sie stellte die Basis für die Formulierung der Entwicklungsschwerpunkte dar. Die Strukturierung und Ope-rationalisierung der Ziele bildete die Voraussetzung für die spätere Variantenauswahl. Durch die systemorientierte Vorgehensmethodik wurden ganzheitliche und innovative Lösungsansätze möglich. Einschränkungen bei der Lösungssuche durch gerätetechnische Abhängigkeiten konnten durch dieses Vorgehen weitgehend vermieden werden. Der Lösungsweg stellte sicher, daß alle Varianten des Lösungsfelds die Forderungen erfüllten. Die Variantenbildung wurde auf rein funktionaler Ebene vorgenommen, um auch hier Einschränkungen durch gerätetechnische Randbedingungen zu minimieren. Basierend auf dem Erfüllungsgrad der abgeleiteten Bewertungskriterien wurde das Systemkonzept ausgewählt.
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© 1990 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
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Sauter, KD. (1990). Zusammenfassung und Ausblick. In: Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen. IPA-IAO — Forschung und Praxis, vol 149. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47941-0_9
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