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Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

Part of the book series: IPA-IAO — Forschung und Praxis ((IPA,volume 149))

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Literaturverzeichnis

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  1. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

    Dipl.-Ing. Klaus-Dieter Sauter

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Sauter, KD. (1990). Literaturverzeichnis. In: Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen. IPA-IAO — Forschung und Praxis, vol 149. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47941-0_10

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