Zusammenfassung
Die bisherigen Kapitel zeigten Einzelaspekte verschiedener Teilschritte bei der Entwicklung eines plasmaaktivierten Abscheideverfahrens. Es wurde die Charakterisierung der inneren Aktivität als Funktion äußerer Prozeßgrößen sowie ihre Relation zu den phänomenologischen Effekten auf dem Basiswerkstoff ermittelt. Ergänzend dazu sollen die Ergebnisse der Kombination der beiden Verfahren Nitrieren und Beschichten zusammengefaßt und dokumentiert werden.
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© 1998 Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg
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Stratil, P. (1998). Überprüfung der dargestellten Ansätze: plasmaunterstützter Kombinationsprozeß haftfester a-C:H-Schichten auf vornitrierten Stahlsubstraten. In: Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien. IPA-IAO - Forschung und Praxis, vol 265. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8_7
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